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紅外光源
提供不同尺寸、不同規(guī)格的MEMS紅外光源定制芯片。紅外光源工藝流程如下:
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超聲波傳感器
提供MEMS超聲波傳感器定制芯片。超聲波傳感器工藝流程如下:
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叉指電極
提供各類MEMS生物醫(yī)療器件定制芯片,包括叉指電極、三電極共面電極。
硅針/柔性針
硅針/柔性針主要用在神經元檢測、葡萄糖檢測等。針長可達到15mm。
微熱板氣體傳感器
提供不同尺寸、不同加熱電極、不同加熱溫度的MEMS微熱板氣體傳感器定制芯片。微熱板工藝流程如下:
FBAR濾波器
提供FBAR濾波器定制芯片。FBAR濾波器工藝流程如下:
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壓力傳感器
提供擴散硅壓阻式力傳感器、多晶硅壓阻式壓力傳感器、SOI( Silicon on Insulator
通孔微結構
提供不同開口孔徑和不同厚度的硅基通孔定制芯片,用于病毒細胞和蛋白質篩選。
基因轉錄組芯片
玻璃基全面的亞細胞級轉錄組芯片,為疾病的診斷治療及藥物研發(fā)提供更有力的決策依據。
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